產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
詳情介紹:
半導(dǎo)體設(shè)備的密封件廣泛使用氟橡膠(FKM)和全氟醚橡膠(FFKM),用于泵、閥門、反應(yīng)室門、氣體輸送系統(tǒng)等的密封,可耐受高溫、腐蝕性化學(xué)品和等離子體環(huán)境。
